中国自主研发 DUV 光刻机启动量产，长鑫存储等厂商或为首批客户

据 The Information 援引知情人士消息，一家获中国国有资本支持的企业已开始量产自主研发的 DUV 光刻机，计划 2026 年生产约 5 台，2027 年生产约 20 台。ASML 去年交付 131 套浸没式 DUV 光刻系统。这批国产 DUV 光刻机计划交付给中芯国际、华虹半导体以及长鑫存储，其中长鑫存储预计将成为国产先进半导体制造设备的重要应用方。